Welasan Silicon Carbide Cantilevers
Produk rinci lan aplikasi
Kekuatan loading wafer gedhe silikon karbida SiSiC / SiC cantilever dayung / balok cocog kanggo sistem loading lan penanganan otomatis robot amarga nduweni kinerja stabil, non-deformasi ing suhu dhuwur lan kekuatan pemuatan wafer gedhe. Amarga bagean dayung cantilever stabil tanpa deformasi, bisa nggawe wafer ukuran luwih gedhe nggunakake tabung tungku sing wis ana. Kekuatan wafer ngemot silikon karbida SiSiC / SiC cantilever dayung / balok bisa ditrapake ing LPVCD adhedhasar koefisien ekspansi termal sing padha karo lapisan LPVCD, sing ndawakake siklus pangopènan lan reresik, lan nyuda polutan.
Parameter teknis reaksi terikat silikon karbida RBSIC:
| barang | unit | data |
| Suhu aplikasi | ℃ | 1380 |
| kapadhetan | G / cm3 | > = 3.02 |
| Porositas mbukak | % | <0,1 |
| Skala Kekerasan Moh | 13 | |
| Kekuwatan mlengkung | Mpa | 250 (20 ℃) |
| Mpa | 280 (1200 ℃) | |
| Modulus elastisitas | Gpa | 330 (20 ℃) |
| Gpa | 300 (1200 ℃) | |
| Konduktivitas termal | W / mk | 45 (1200 ℃) |
| Koefisien ekspansi termal | K-1 * 10-6 | 4.5 |
| Alkalitas asam-asam | Apik banget |
Fitur:
a. Ora cacat ing suhu dhuwur lan kekuatan muat wafer gedhe;
b. Tahan kejut termal sing apik banget lan umur kerja dawa;
c. Koefisien ekspansi termal saka dayung cantilever iku sithik banget, sing bisa ndawakake siklus pangopènan lan reresik;
lan nyuda nyuda polutan
Perabotan tungku liyane digawe saka keramik silikon karbida
Kejabi dayung silikon karbida SiSiC beresaksi kanggo mbukak wafer, kita uga ngasilake furnitur tungku liyane kayata balok karbida silikon RBSIC / SISIC, tabung nozel, tabung nozel spiral, tabung nozel swirl, bathi / setter silikon terikat oksida terikat lan pipa pendingin RBSIC .
Nganggo produk tahan karbohidrat silikon RBSIC / SISIC
Amarga produk karbohidrat silikon RBSIC / SISIC duwe kaluwihan resistensi nyandhang banget, resistansi korosi lan umur panjang, bisa uga digawe lapisan tahan aus sing bisa dipasang kanthi gampang ing pipa utawa siklon.
